沈天慧

沈天慧是著名的半导体化学家，毕业于上海大同大学化工系，后奔赴苏联进修，回国后在中科院半导体研究所工作，和其他科研人员一起，研究出单晶硅，为我国半导体技术发展做出了贡献，后致力于大规模集成电路的研究，并且当选为中科院院士！

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沈天慧

1923年4月27日生于浙江嘉善，籍贯浙江杭州。

1949年毕业于上海大同大学化工系。

1957年至1959年赴苏联进修。回国后，她和中国科学院半导体研究所的科研人员一起，用元坩锅区熔法拉出了单晶硅，为祖国的半导体科学技术作出贡献。

1974年，沈天慧致力于大规模集成电路的研究。

1978年成功地用等平面N沟硅栅MOS工艺，研制出大规模集成电路数种，当时在国内处于领先地位。

1966-1986年从事半导体材料及航天用大规模集成电路的研制。

1980年当选为中国科学院学部委员

1987年后，从事磁头磁盘及电磁型微马达的研制工作，已制出直径为2mm的微马达。

2011年1月2日逝世。